修理実績一覧
修理実績例①
ティーチング
ペンダント
メカコントローラー
（PC-9201）
コントローラー
（GP230-LG11-HT）
基板
（MC31041A）
FC-9801F
WAFER COUNTER A
横型炉基板 DC-212A
910623001 REV.A
プラズマディスプレイ
I/O CONTROLLER
（27‐10157-00）
CPUボード（CPU-88C）
POWER DAR基板（251073-001REV：C）
M340 CTRL（PM2972A-2-3）
表示ユニット
（ELT-H-E（CEMP-0011））
メンテナンスパネル
（CESP-0012）
修理実績例②
MC-31008B基板（MC-31008B）
MPU基板
（2181-020028-11）
GAS I/L 基板
CP-8400基板
（CP-8400）
TCPボード
（810‐015987‐101）
INTERACTIVE DISPLAY（NT30C-ST141B-V1）
TS-4000Z PANEL CTL(フロント側）
TS-4000Z PANEL CTL(リア側)
SG-2700基板
（SG-2700）
超音波加湿器
（FT-20CB）
インターフェースボード
基板（WJ-※※）
基板（WJ-※※）
TEMPERATURE CONTROLLER
薬液切替CTRL
修理実績例③
C-V･BT測定器(10chスキャナー)
BG3基板
FDD(FD-235HG TEL特殊品）
TMPコントローラー
α-8ポンプ操作盤
ユニット
炉心管CTL
ASPENⅡモーターボード
T/T基板
SERVOPACK
サーモトリム(WJ950用)
サーモガード(WJ991用)
イオンゲージCTL
Smart-UPS1000
電源
（OVS-12G-UC）
修理実績例④
PC（TYPE8550-031）
通信ユニット
（IC610CCM105D）
ヒーターコントロールユニット
（CEHC-0018）
POWER SUPPLY
（1515D）
ランプ点灯装置基板
TEMPERATURE MONITOR（EC-3323R-113）
排気圧コントロールバルブ（FT-20CB） 
SERVO PACK（CACR-PR01AC4ER）
ENDPOINT CONTROLLER
（1014EM）
SST用モニター
（CMA1564-801-W）
AUX基板サーモトリム（901034-001 REV.D 003）
タッチモニター（GLC-TC41-200V）
フローメーター
（771-001032-014）
終点検出器
(EPS-03)
ロボットコントローラー
(UTC-800P)
修理実績例⑤
サーボアンプ（CESA-0014 AU3585N222）
AC SERVO DRIVER
排気圧コントローラー
RKC RE-48
POWER O
DAT DRIVE（KZ-C32T）
トランジスタ出力ユニット
PORTABLE LCD TERMINAL
（AVAL-TM20）
ウルトラソニック CTRL
(WJ- 全般対応可能)
636用電源
（CESE-0062）
